image: The HB utilizes a precision stage and optical encoder to move freely and with impressive precision, making the robot a useful tool for moving sub-micrometer-sized objects.
Credit: Image adapted from O. Fuchiwaki et al., Advanced Intelligent Systems 2026, DOI: 10.1002/aisy.202501141. Used under CC-BY 4.0.
横浜国立大学の渕脇大海准教授らの研究グループは、従来の精密位置決め装置が抱える「装置の大型化」と「動作範囲の狭さ」という課題を解決するため、圧電素子を用いた手のひらサイズのホロノミック精密自走ロボット「Holonomic-Beetle」の精密経路追従を実現しました。 本ロボットは0.01µm（マイクロメートル）という極めて高い分解能を有しており、PID制御を用いることで、1cm²～100µm²の位置決め範囲において、経路誤差を0.5µm～4.75µmに抑えた精密な経路追従を実現しました。これにより、従来は困難であった「小型サイズ」と「広範囲の精密位置決め」の両立を実証し、将来的な微細加工や医療分野への応用可能性を示しました。
本研究成果は国際科学誌「Advanced Intelligent Systems」（2026年1月30日付） に掲載されました
Journal
Advanced Intelligent Systems
Method of Research
Experimental study
Subject of Research
Not applicable
Article Title
Sub-Micrometer-Precision Path Following of Piezo-Actuated Mobile Robot
Article Publication Date
30-Jan-2026