图5 LED灯珠空间光强分布采集系统、自主研发的接近式光刻实验平台，以及在该平台上集成所提出的新型照明系统后完成曝光与显影得到的图案结果照片。 (IMAGE)

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图5 LED灯珠空间光强分布采集系统、自主研发的接近式光刻实验平台，以及在该平台上集成所提出的新型照明系统后完成曝光与显影得到的图案结果照片。

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图5 LED灯珠空间光强分布采集系统、自主研发的接近式光刻实验平台，以及在该平台上集成所提出的新型照明系统后完成曝光与显影得到的图案结果照片。

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