新竹教授が、EUVリソグラフィの設計を検討している様子 (IMAGE)

Okinawa Institute of Science and Technology (OIST) Graduate University

新竹教授が、EUVリソグラフィの設計を検討している様子

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新竹教授は、光学シミュレーションシステム「OpTaliX」を用いて、EUVリソグラフィ光学システムの設計において、ミラーの正確な曲率と配置を算出している。

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アンドリュー・スコット（OIST）

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